Faza 26

Tehnologie de obtinere a filmelor subtiri prin depunere thermica in vid din compusii amorfi in sistemul As-S si As-Se

  • R88 Articol stiintific in baza de date internationala
  • R89 Cerere brevet
  • R90 Schema instalatie cu vid pentru depuneri
  • R91 Filme amorfe subtiri sistemul As-S-Se cu caracteristici determinate
  • R92 Instalatie cu vid: montaj experimental
  • R93 Tehnologie de obtinere a filmelor subtiri din compusi calcogenici amorfi